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はじめての半導体リソグラフィ技術(現場の即戦力) [単行本]

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    商品の詳細

  • 目次(「BOOK」データベースより)

    1章 半導体集積回路の発展とリソグラフィ技術
    2章 光リソグラフィ技術
    3章 電子線リソグラフィ技術
    4章 X線・EUVリソグラフィ技術
    5章 その他のリソグラフィ技術
    6章 マスク技術
    7章 レジスト技術
    8章 計測評価技術
    9章 リソグラフィ技術の課題と今後の展望
  • 著者紹介(「BOOK著者紹介情報」より)(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)

    岡崎 信次(オカザキ シンジ)
    1970年東京工業大学理工学部電子工学科卒業。1970年(株)日立製作所中央研究所に入所。1980年より1年間米国Rensselater Polytechnic Instituteに留学。1994年東京工業大学より工学博士授与。1995年日立製作所半導体事業部、1998年同社デバイス開発センターに異動、同年中央研究所に戻りASETに出向、EUV研究室室長としてEUVリソグラフィ技術の研究に従事。2002年ASET、EUVプロセス技術研究部部長に就任し、2006年日立中研に戻る

    鈴木 章義(スズキ アキヨシ)
    1973年東京大学物理工学専門課程修士修了。1973年キヤノン(株)に入社。現在、NGL推進統括部、キヤノンフェロー、SPIEフェロー。1984年光学論文賞、1985年機械振興協会賞、2005年新機械振興会賞。1991年東京大学より工学博士授与

    上野 巧(ウエノ タクミ)
    1979年東京工業大学大学院理工学研究科博士課程修了(理博)。1979年(株)日立製作所中央研究所に入所。1995年同社日立研究所、2001年日立化成工業(株)総合研究所、2002年日立化成デュポンマイクロシステムズ(株)、2005年より日立化成工業(株)筑波総合研究所主管研究員
  • 商品の説明

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    色々組み換えできるのかと勘違いして買ってしまったのと、組立に時間がかかってしまったけど買ってよかったです。

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    ゴールドを購入し、とても可愛くて気に入ってます!着けたかった指には少しきつかったので隣の指につけてます。華奢なデザインのも同時に購入したので合わせて着けてます。可愛いのが沢山あるのでまた買いたいです。RGB

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    思っていたより立派でした。最後扉の取り付け時に大きなプラスドライバーは使えず小さなものでしないといけなくて力が足りず取り付けに難航しました。扉を最初に取り付けてから全体を組み立てる方法を教えて欲しかったです。商品には大変満足しております。

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